Laserové odprašování (ablace)

Metoda aplikuje proces ablace (odprašování) materiálu po expozici intensivními laserovými svazky, většinou v ultrafialové oblasti spektra. Zápis difrakční struktury je buď bodový (skanování svazku) nebo se jedná o kopírování transparentních masek. Výsledkem je tedy reliéfní struktura. V současné době metoda není příliš rozšířena, omezení mj. spočívají i v malé rozlišovací schopnosti.

Zpět: Elektronová litografie O úroveň výše: Technologie přípravy difrakčních struktur Pokračovat: Mechanické rytí