Optická litografie

Optický záznam se provádí kopírováním masek vyrobených jinými (neoptickými) metodami, nebo pomocí metody bodového (mikrostrukturálního) zápisu difrakční struktury pomocí fokuzovaného paprsku (optický zapisovač). Paprsek většinou zapisuje strukturu napočteného interferenčního pole a to postupným projížděním (řádkováním) přes záznamové médium. Záznamovým médiem bývá často halogenostříbrný materiál.

Předností metody je možnost návrhů syntetických difrakčních struktur, a to i mimo viditelnou oblast a oblast dostupných vlnových délek laserů.

Nevýhodou metody je malá rozlišovací schopnost metody v porovnání s ostatními metodami (velikost optické stopy je v jednotách mikrometrů - $10^{-6}\,\mathrm{m}$), vysoká pracnost a zdlouhavost metody (odtud plyne i rozměrová omezenost prvků), a skutečnost, že touto metodou vzniká pouze tenká difrakční struktura.

Zpět: Optický záznam interferenčního pole O úroveň výše: Technologie přípravy difrakčních struktur Pokračovat: Elektronová litografie